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2종류에서 최대 4종류까지 1대의 Flow
meter를 가지고, 각각의 유량범위와
가스를 조절 가능하다.
- 각각
0.5ml/min~5ml/min부터 2L/min~20L/min까지
조절이 가능하다.
- 정밀 유량계
RK1200 을 기본으로 하고 있어, 고정밀도(FS
±2%)의 계측이 가능.
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용 도 ; 각각의 성분의 Control. Multi
channel Control.
- 대상 가스
; Air, N2, O2, H2, He, Ar, CO2,
기타 Gas등 |
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