Flow Meter

 

Flow Meter 

Ozone Gas Generator

Multi Flow Meter

Ozonized Water System  

 Lead Switch Flow Meter (경보 Switch용 유량계)

Gas Mixer & Blender

 Liquid for Flow Digital controller (액체용 디지털 유량계)

Fuel Cell (연료전지시험장치)

Oxygen Gas Generator  

촉매시험장치

Nitrogen Gas Generator

Flow Control valve (유량제어 밸브)

Mass Flow Controller

Pressure regulating valve (압력제어밸브)

 

 
1. GAS MIXER
- Regulator, 압력계, Ball Valve, Flow meter, 2차압 변동형 MFC를 조합한 고정밀도,고안정성의 Flow control system Mixer입니다.
- 우수한 기밀성, 배관은 모두 Stainless steel로 연결
- 2차압 변동형 Flow controller를 내장하여 부하압 변동의 영향을 받지 않고 일정 유량의 혼합이 가능합니다.

Model [GM series]

Model [PMG-1]

구    분

GM-2B
GM-3B
GM-4B
PMG-1

Mixing Gas No.

2종 혼합
3종 혼합
4종 혼합
2종 혼합

혼 합 법

유량비 혼합 방식

유량 범위

10ml/min ~ 30L/min
100ml/min ~ 20L/min

혼합 gas 전체 유량

30L/min 이내(1 Line의 최대유량 20L/min)
Mas. 40L/min

Accuracy

각 성분 ±2% F.S
각 성분 ±2% F.S
적용 Gas
Air, N2, O2, He, Ar, CO2, 기타 gas
Air, N2, 기타 gas
사용 압력범위
78.4 ~ 588kPa (0.8 ~ 6kg/cm2.G)
78.4 ~ 588kPa
내 압
784kPa (6kg/cm2.G)
784kPa
배관 접속
Rc 1/4
Rc 1/4, Rc 1/8
사용 온도 범위
5℃ ~ 40℃
5℃ ~ 40℃
외부 크기(WxHxD)
290x440x350mm
360x440x350mm
430x440x350mm
150x240x300mm
 
2. GAS BLENDER
- Mass flow controller에 의한 혼합장치이기 때문에 온도, 압력등 외부의 영향을 받지 않고, 안정한 고정도의 가스혼합이 행해진다.

- 각성분 가스의 유량설정이 용이하다.
- ±1%의 우수한 고정도의 가스 혼합기.
- 반도체, Bio등 폭넓은 분야에 사용됨.






구분
GB-2C
GB-3C
GB-4C
Mixing Gas No.

2종 혼합

3종 혼합

4종 혼합

제어 방식
Thermal Mass Flow Controller 제어
적용 가스
Air, N2, O2, He, H2, Ar, CO2, 기타 가스도 제어 가능
유량 범위
각 가스 10SCCM ~ 20SLM
사용 압력
49 ~ 343 kPa (0.5 ~ 3.5kg/cm2.G)
내 압
784 kPa (8kg/cm2.G)
정 밀 도
±1% 성분 가스 Full Scale
재 현 성
±0.5% Full Scale
유량 입출력 신호
0 ~ 5V DC
접촉 가스부 재질
표준 SUS316, VITON, TEFLON
배관 접속
Rc 1/4
사용 가스
성능 보정 15℃ ~ 35℃
유량 표시기
3½-Digit 7 segment LED Digital Meter
유량 설정
4-Digit Digital switch에 의한 각성분 독립 설정
Shut Off Valve
각 성분 Gas Line Shut, SUS316 Ball Valve
IN Side Joint
20μ표준 저압의 경우 SUS316 Filter 부착, Filter가 없어도 가능
OUT Side Joint
SUS316 Filter 무
전원 용량
AC100V, 50/60Hz, 30W
외부 크기(WxHxD)
290x440x350mm
360x440x350mm
430x440x350mm

 

RK120X(M)

GSM

GWM