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Flow Meter
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Flow
meter
선정 가이드
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가스의 종류, 압력, 유량,
액체용등 다양하게 선택.
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정밀도와 재현성이 우수.
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센서를 부착하여 유량의
감시및 제어가 가능.
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구
분
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Model
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유량
범위
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정밀도(F.S)
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카다로그 화일
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특징
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기기조립용
범용제품
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RK1250
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5ml/min~30L/min
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±2%
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pdf
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-
가스용 : Air, N2, O2, H2, He, Ar,
CO2, 기타가스등
-
몸체 재질 : Brass, SUS 선택
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RK1200
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5ml/min~100L/min
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±2%
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pdf
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RK1650 |
500ml/min~20L/min |
±5% |
pdf
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RK1600R
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500ml/min~20L/min
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±5%
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pdf
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RK1450
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5ml/min~30L/min
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±2%
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pdf
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RK1400
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5ml/min~100L/min
|
±2%
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pdf
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RK1050
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100ml/min~20L/min
|
±5%
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pdf
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RK1000
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100ml/min~20L/min
|
±5%
|
pdf
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RK1700
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200ml/min~50L/min
|
±7%
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pdf
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수지
제품
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RK1150
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10ml/min~20L/min
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±10%
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pdf
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가스용,
재질:엔지니어링 플라스틱
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RK200
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Air : 500ml~50L/min
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±6%
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pdf
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Air용,
재질:아크릴수지
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RK400 |
물 : 50cc~3.7L/min |
±6% |
pdf
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물용,
재질:아크릴수지 |
RK500
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Air : 500ml~50L/min
물 : 15L~75L/min
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±3% |
pdf
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Air/물용,
재질:아크릴수지
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스탠드형
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RK1350
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5ml/min~30L/min
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±2%
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pdf
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가스용,
재질: SUS,
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Lead
switch
경보
부착
/유량
감시용
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RK1930/1935
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물 : 0.1L~2L/min
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±5%
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pdf
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-
Air, 물용
-
재질 : Brass, SUS 선택
-
경보 Switch를 부착하여 상.하한
을 설정하여 유량 감시용으로 최적
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RK1970/1975 |
Air : 10L~150L/min
물 : 0.5L~10L/min |
±5% |
pdf
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RK2000/2005
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Air: 100L~1000L/min
물 : 3L~30L/min
|
±5%
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pdf
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RK1812/1814
|
Air : 2L~50L/min
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±2%
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pdf
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RK1860/1865
|
Gas : 1L~20L/min
|
±5%
|
pdf
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특수
밸브제품
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RK1500
|
5ml/min~30L/min
|
±2%
|
pdf
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고진공용,
고정밀도
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RK2503F
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5ml/min~20L/min
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±2%
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pdf
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부하압
변동이 있는 경우
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RK2504F
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5ml/min~10L/min
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±2%
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pdf
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공급측
압력변동이 있는경우
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Multi
가스용,
가스혼합용
스탠드제품
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RK120X
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5ml/min~20L/min
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±2%
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pdf
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2~4종류의
가스를 각각조절 또는 혼합할 수 있다.RK140X
: 유량계측만가능.
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RK120X(M)
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5ml/min~20L/min
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±2%
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pdf
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RK140X
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5ml/min~20L/min
|
±2%
|
pdf
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분해
조립용
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RK1100
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10ml/min~20L/min
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±2%
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pdf
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가스용,
분해 조립이 가능
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RK1100V
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0.5L/min~20L/min
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±2%
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pdf
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가스
봄배용
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RK4450
|
1L/min~50L/min
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±2%
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pdf
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가스용,
가스레귤레이터에 연결하거나 가스봄배에
연결.
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RK4400
|
10ml/min~20L/min
|
±2%
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pdf
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>
기기조립용 Flow meter, 범용제품 |
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RK1250
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RK1200
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RK1650 |
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RK1600R |
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RK1450
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RK1400 |
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RK1050 |
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RK1000 |
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RK1700 |
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>
수지 제품, 스탠드형 제품
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RK1150 |
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RK200 |
|
RK400 |
|
RK500 |
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스탠드형 RK1350V |
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>
Lead 경보 Switch 부착 Flow meter
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RK1935 |
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RK1975 |
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RK2005 |
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RK1812/1814 |
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RK1860/1865 |
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>
특수밸브제품 - Multi 가스용, 조립용, 가스 레귤레이터용
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RK1500 |
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RK2503F |
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RK2004FR |
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RK1100/1100V/1100PV |
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RK4400 |
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Gas Flow Meter (유량계)
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- 경량으로 소형의 Needle Valve를 가진 유량계입니다.
- 정밀도와 재현성이 우수합니다.
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Model
[RK1600R]
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유체명(Gas)
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Air, N2, O2, H2, He, Ar, CO2
등 (선택사양)
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유량(FS)L / min
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0.5, 1, 2, 3, 4, 5, 10, 15, 20 ℓ/min (선택사양)
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정밀도
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FS ± 5%
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내압
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5 ℓ/min 이하
: 0.8Mpa
10
ℓ/min 이상 : 0.5Mpa
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유효눈금
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10:1
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재질
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SUS 316(본체), Pyrex (관)
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Packing
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Viton
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사용온도
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120℃ 까지 (유체온도)
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전체크기
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150mm (80,100,120mm 선택)
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저 leak 유량제어용 Flow Meter
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-
고진공,
고압, 고온, 유독 Gas등에 사용되도록 셜계된 유량계입니다.
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헬륨 leak Tester로 모든 제품에 대해서 leak Test를
하고 있기 때문에 leak에
대해서 확신을 얻을 수 있습니다.
-
Bellows Needle Valve를 채용하여 축으로부터 leak
이 없습니다.
-
유체 접촉 부의 재질은 SUS 316, Viton 등 내식성이
우수합니다.
-
초정밀한 Tuble등으로 구성되어진 정도가 높은 재현성, 안정성
우수한 유량계.
- 진공장치,
반도체 제조 line등에 사용
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Model
[RK1500]
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유체명)
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(Gas
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Air, N2, O2, H2, He, Ar, CO2
등 (선택) (선택사양)
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(Liguid)
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Water
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유량 범위
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0.2~5 mℓ/min to 3~30L L/min(Gas)
0.5~5mℓ/min
to 0.1~1L L/min(Water)
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정밀도
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FS ± 2%
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내
압
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Gas
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Water
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100 ℓ/min 이하 : 1.4Mpa
5 ℓ/min 이하 :
1.0Mpa
10
ℓ/min 이하 : 0.5Mpa
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5
ℓ/min 이하 : 1.4Mpa
100
ℓ/min 이하 : 1.0Mpa
300
ℓ/min 이하 : 0.5Mpa
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유효눈금
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10:1 (option 20:1, 2종류 유체 눈금)
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재
질
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SUS 316(본체), Pyrex (관)
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Packing
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Viton
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사용온도
|
120℃ 까지 (유체온도)
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전체크기
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120, 150, 200, 250mm (선택)
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