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센서 발열부가 가스와
비접촉하기 때문에 가연성
가스의 유량제어가 가능.
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가스의 종류, sealing
재질, 유량, Flow control
Indicator 내장형등 다양하게
선택.
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가스 접촉부를 내부식성이
강한 Stainless steel을
사용.
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Option에 의해 Software에
의한 데이터분석, 관리가
가능.
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Low cost, 빠른 납기,
신속한 A/S로 고객의
제품 경쟁력 확보.
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- 접액부는 테프론 재질로 되어 있어 유체의 일정유량제어가 가능.
- 전용의 신형 밸브구조에 의해 Particle이 거의 발생하지 않는다.
- 고온타입은 80℃까지 제어 가능
- RS232C 출력과 Digital 제어 가능.
- 초순수, 냉각수, 세정수, 약액(내산, 내알카리) 대응 가능.
- 유로에는 과발생체와 과검출기가 있는 간단한 구조로, 압력 손실이 적고, 액의 누수가
없고, 검출기가 액과 접촉하고 있지 않기 때문에, 순수한 반도체 process 유체제어와 의약,
식품관련의 액체 제어에 최적 제품이다.
- 정밀도가 ±2% 이내로 우수하고, 응답성도 전영역에서 2초이내.
- 유량범위는 0.4 ~ 2.0L/min
** 세부사항은 PDF문서를 참조하세요.
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