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직결형 Oil 진공펌프(G, GLD, GCD series) Diaphram Dry Vacuum Pump(DA series, DTC series)
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스파터링 장치(Sputtering System) |
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- 진공증착보다도 정밀하고 고정도한 박막을 재현성 좋게 형성하고, 진공증착으로는 불가능한 고융점
물질의 성막도 가능한 puttering 장치입니다.
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- 용도에 따라 고주파 Magnetron Sputter, 고주파 Sputter, 이온 Sputter등 선택할 수 있습니다. |
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1) 고주파 스파터링 장치(Compact radio frequency Sputtering System) |
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| - Compact한 설계 |
| - 전원은 1차측 100V, 15A로 사용가능하고, 출력은 200W 水晶(수정)제어방식으로 Sputtering 속도는 20nm/min (SiO2 TARGET 사용시 기준)입니다. |
| - TARGET은 φ80, 냉각, 가열 가능함 |
| - 고속으로 진공배기를 시킴 |
| - 도입 GAS는 유량조절 VALVE로 미세조절을 할 수 있음 |
| - 진공계, 온도 지시 조절계, 안전조작용 비상경보기등 필요한 계기류가 조립 부착되어 있다. |
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RFS-200 |
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Model |
RFS-200 |
Standard target |
φ80, 1~5t |
Vacuum chamber |
Vacuum chamber200(W)×250(D)×150(H)㎜,
SUS-304 Front door |
기판 (Substrate electrode) |
φ80 Cu Heating &cooling |
Cathode (Target electrode) |
φ80 Cu Water cooling |
Shutter |
φ95㎜×1t Manual operation |
RF power supply |
200W, 13.56MHz |
기판 가열 전원 |
Digital Auto control Max 350℃ |
배기계 (Vacuum system) |
Oil diffusion pump 2½",250L/min,
Oil sealed pump G-100D 120L/min |
Dimensions |
800(W)×630(D)×1450(H)㎜ |
Weight |
200Kg |
Power requirement |
1φ, 100V, 1.3Kw |
Power requirement for RF |
1φ, 100V 0.5Kw |
Cooling water requirement |
200kPa, 5L/min, 20℃이하 |
도달 압력 |
6.7x10-4Pa (5.0x10-6torr) |
배기 시간 |
10-3Pa (7.5x10-6torr) 5분 |
Sputtering pressure |
10-1Pa Ar |
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2) 이온 스파터링 장치 (Compact Ion-Sputtering System) |
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| - 조작이 간단하고, 시료의 Coating처리가 단시간에 가능 |
| - Coating시간을 설정할 수 있습니다. |
| - Ultra Compact, Coating and Etching |
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VPS-020 / VPS-050 |
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Model |
VPS-020 |
VPS-050 |
Standard Target |
φ50mm Au 1개 (Coating)
φ50mm Al 1개 (Etching) |
φ100mm Au 1개 (Coating)
φ100mm Al 1개 (Etching) |
Specimen base(시료대) |
φ70mm |
φ100mm |
높이 조절범위 : 15mm, 20mm, 60mm |
Chamber |
φ120mm x 120mm(D) |
φ240mm x 240mm(D) |
Rotary Vacuum Pump |
G-20DA (20L/min) |
G-100D (100L/min) |
High voltage power supply |
lkV, 0~20mA (전류계 부착, 안전회로 내장) |
Coating Method |
AC/DC Sputtering |
Etching Method |
AC/DC Sputtering |
Timer |
0 ~ 15분 연속 가변 |
Gas regulating mechanism |
Needle valve |
Power |
1φ, 100V, 0.4Kw |
1φ, 100V, 0.5Kw |
Dimension(WxDxH) |
160 x 365 x 317mm |
282 x 485 x440mm |
Weight |
8.5kg |
20kg |
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